<<毛片最新网址>> 整个芯片制造过程，可能需要数十次光刻，光刻工艺成本约为整个芯片制造工艺的30%，耗时占整个芯片生产环节的 40%~50%。光刻机是芯片“出生”过程中必不可少的工具。
1974年9月，国家计委在北京召开全国大规模集成电路及其基础材料大会战会议，要求在1974至1976年会战期间，突破大规模集成电路工艺技术、设备制造和基础材料的技术关键。
国内一位光刻技术领域的权威专家对《中国新闻周刊》解释说，先进的光刻技术之所以难以替代，一方面在于光刻的高精度，一方面是高速度。根据阿斯麦利来网官网介绍，其最新一款胜任3纳米和5纳米制程的极紫外光刻机，每小时曝光的12英寸晶圆数量到达160片。在其利来网官网对于先进的光刻技术这样写道：掩膜版和晶圆台要保持超高速同步行动，二者的运动方向相反。由于掩膜版上比晶圆片上图案要大，因此二者要分别以15g和5g的加速度施展“凌波微步”，这比喷气式飞机起飞时加速度还大。每次曝光，晶圆台以纳米级的精度移动，每秒检测和调整位置20000次。但过程中，不能产生丝毫振动，这对于生产出合格的芯片至关重要。阿斯麦最新款极紫外光刻机的“身价”不菲，售价达2亿美元。
五、对于接种新冠病毒疫苗后48小时内人员，暂不安排参加此次核酸检测，各区提前做好备案统计，妥善安排后续检测。对于疫情防控、核酸采样检测和城市运行保障相关工作人员，各区做好安排，保障工作出行。
本报记者 陈金昀 【编辑:陈金昀 】