苍井空动图 光刻技术早在1960年代就被发明出来，但直到1978年，美国gca公司才推出现代意义的自动化步进式光刻机。所谓步进式，就是每次曝光时，不曝光整个晶圆，而是一部分一部分地曝光。在这过程中，晶圆台不断移动。此后，光刻机的发展总体沿着步进式的路线不断向前。根据光刻机选用光的种类、透镜镜头数值孔径的不同，光刻的精度在不断提高。
三、各区疫情防控指挥部均安排了一定数量的补漏采样点位，请因特殊原因未能及时参加核酸检测的群众，关注各区公告，及时到补漏采样点采样。凡是未在规定时间内参加核酸检测的群众，“健康码”调整为“黄码”。待完成核酸检测且结果呈阴性后转为“绿码”。
全省累计治愈出院63886例，累计病亡4512例，累计报告新冠肺炎确诊病例68399例。尚在集中隔离医学观察的密切接触者795人。
前述光刻技术专家分析说，从每个企业的角度来讲，光刻机研发周期长，涉及全球供应链，企业在自主研发时是没有底气的。再者，虽然中国可以自产90纳米工艺光刻机，但实际上，很多企业只买了一两台试用或作为备用，“并没有达到我们当初的设想”，即实现大规模的国产替代。在他看来，如今因为一些外部大环境问题，光刻机被“卡脖子”，但如果未来有一天放开，还可能会再度出现1990年代国内芯片制造商更青睐国外光刻机，进而造成自主研发停滞的情景。“国家更多考虑的是战略层面，如果未来限制放开，国产光刻机品牌能否活得下去？”因此，光刻机的研发既关系到国家战略，又涉及市场的问题，需要全盘
本报记者 陈雅琪 【编辑:陈雅琪 】