<> 一直到2008年,国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”项目(又称02专项)开始实施,光刻机的研发才又被真正重新重视起来。
2022年2月26日0时至2022年6月2日24时,累计本土确诊58013例,治愈出院56407例,在院治疗1018例(其中重型52例,危重型21例),死亡588。现有待排查的疑似病例0例。
地缘冲突、新冠疫情对国际粮价的影响日益突出,继印度发布小麦出口临时禁令之外,国际大米市场上也传出消息,泰国、越南计划联合提高大米价格,印度也可能收紧大米出口规模。在南美,今年春季持续的干旱影响着当地大豆的生产,这对中国的大豆进口又会产生怎样的影响?
到目前为止,上海微电子装备有限公司研发的90纳米工艺节点光刻机已经投入使用,预计这一两年会提交首台28纳米节点的国产浸没式光刻机。但即便交付,这一产品还要经过验证,距离真正上生产线,还需要一到两年。2017年,长春光机所的“极紫外光刻关键技术研究”重大科技专项通过验收。去年2月,清华大学团队报告了“稳态微聚束”首个原理验证实验,这对于输出大功率、更短波长的极紫外光源提供一种新思路。
本报记者 傅怡君 【编辑:傅怡君 】